FIB (Focused Ion Beam) - Anwendungen
Halbleiterindustrie
- Präparation von REM- und TEM-Proben für die Routine-Prozesskontrolle und für die physikalische Fehleranalyse
- Modifikation von integrierten Schaltkreisen und von MEMS
Halbzeughersteller und verarbeitende Industrie
- Präparation von REM- und TEM-Proben im Bereich der Werkstoffkunde (Randschicht- und Grenzflächenanalytik, Untersuchung miniaturisierter Systeme)
Materialographie
- Präparation von Querschnitten zur Visualisierung des Gefüges
Life Science
- Anfertigung biologischer Präparate