Publikationen
Charakterisierung von Schichtsystemen in mikroelektronischen Bauelementen: Herausforderung für Probenpräparation und TEM-Analyse
(E. Zschech, H. J. Engelmann, H. Saage, Q. de Robillard, H. Stegmann)
Praktische Metallografie 38 (2001) 442-453
TEM-Zielpräparation in einer Stunde - Utopie oder realistisches Ziel?
(H. J. Engelmann, B. Volkmann, W. Blum, E. Zschech)
Praktische Metallografie 39 (2002) 117-125
Charakterisierung von Ausscheidungen und Dispersoiden in Al-Werkstoffen unter Verwendung FIB-präparierter TEM-Proben
(H. J. Engelmann, B. Volkmann, E. Zschech, B. Grzemba)
Praktische Metallografie 40 (2003) 139-149
Vom REM-Querschnitt zur TEM-Probe - Neue Möglichkeiten für FIB-Probenpräparation mittels "Refill"-Technik
(H. J. Engelmann, B. Volkmann, E. Zschech)
Praktische Metallografie 40 (2003) 78-84
Erfahrungen bei der Querschnittspräparation von Schichtwerkstoffen mittels FIB-Methode
(B. Arnold, H. D. Bauer)
Praktische Metallografie 40 (2003) 109-129
Materialbearbeitung mittels fokussierter Ionenstrahlen zur TEM-Probenpräraration und Nanostrukturierung
(L. Frey, C. Lehrer)
Praktische Metallografie 40 (2003) 184-192
Präparation von kompliziert herstellbaren TEM-Proben mit dem FIB-Mikroskop
(C. A. Volkert, B. Heiland, F. Kauffmann)
Praktische Metallografie 40 (2003) 193-208
Vor- und Nachteile der TEM-Probenpräparation mittels FIB
(H. J. Engelmann)
Praktische Metallografie 40 (2003) 163-174
FIB-Zielpräparation von TEM-Proben mittels Nadelmanipulationstechnik
(F. Altmann)
Praktische Metallografie 40 (2003) 175-183
Charakterisierung tribologischer Kontakte mit FIB und TEM
(W. Österle, I. Dörfel, W. Gesatzke, H. Rooch, I. Urban)
Praktische Metallographie 41 (4) (2004) 166-179
Zielpräparation von Proben für 3D-TEM mittels Mikromanipulator
(Y. Ritz, H. Stegmann, H.-J. Engelmann, E. Zschech)
Praktische Metallographie 41 (4) (2004) 180-189
In-situ lift-out von TEM - Proben durch Mikromanipulation in einem Rasterelektronenmikroskop
(C. Burkhardt, W. Nisch)
Praktische Metallographie 41 (4) (2004) 190-198
Anwendung der FIB für Materialwissenschaft und Fehleranalyse
(U. Sennhauser, P. Jacob, P. Gasser)
Praktische Metallographie 41 (4) (2004) 199-209